薄膜电阻器的成分
发布时间：2025-09-19 浏览次数：91 来自： 临沂松泰电子有限公司
薄膜电阻器的成分主要由陶瓷基板和沉积在其表面的电阻膜材料构成。电阻膜材料根据应用需求不同，主要分为以下类型：
常见材料类型
金属膜：采用真空镀膜技术将金属（如镍、铬、钽等）或合金沉积在基板表面，具有高精度（可达0.01%）和低温度系数（TCR约5ppm/℃）的特点。
金属氧化物膜：如锡氧化物、锑氧化物等，通过盐溶液雾化沉积形成，耐高温且稳定性较好，但直流条件下易发生电解。
陶瓷基板：作为支撑结构，通常为氧化铝、氮化铝等陶瓷材料，具有高绝缘性和热稳定性。
特殊材料
铬硅电阻薄膜：以铬和硅为主要成分（如Cr₃Si、Cr₅Si₃等硅化物），通过蒸发或溅射工艺制备，具有高阻值、稳定性好（TCR低）的特点，适用于精密测量等领域